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详细信息
一.功能描述:
四点探针标准测试方法,采用步进系统自动控制探头与样品接触,减少人为因素对测试结果的影响;参照A.S.T.M 标准;测量方块电阻、电阻率、电导率数据、PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式,同一位置的重复测试或多点的面电阻测量,报表输出数据统计分析;提供标准校准电阻件.
二.适用范围:
FT-3120 系列半自动四探针测试仪
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.
FT-3120 系列半自动四探针测试仪 规格型号 FT-3120A FT-3120B FT-3120C FT-3120D 1.电阻 10^-3~2×10^4Ω 10^-5~2×10^5Ω 10^-6~2×10^5Ω 10-4~1×107Ω 2.方块电阻 10^-3~2×10^4Ω/□ 10^-5~2×10^5Ω/□ 10^-6~2×10^5Ω/□ 10-4~1×107Ω/□ 3.电阻率 10^-4~2×10^5Ω-cm 10^-6~2×10^6Ω-cm 10-7~2×106Ω-cm 10-5~2×108Ω-cm 4.测试电流 0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,
10mA,100mA1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA ---200pA 5.电流精度 ±0.1% ±2% 6.电阻精度 ≤0.3% ≤10% 7.PC软件操作 PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、数据管理分析:过程数据,大、小值,均值,方差,变异系数,样品编号,测试点数统计报表生成等 8.探针范围: 探针压力为100-550g;依据样品接触需要手动调节 9.探针 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%
圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制10.可测晶片
尺寸选购
晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);
方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm11.分析模式 自动或手动单点模式 12.加压方式 测量重复性:重复性≤3% 13.安全防护 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 14.测试环境 实验室环境 15.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 16.选购项目 电脑和打印机