• 详细信息

    FT-3120 系列半自动四探针测试仪
    .功能描述
    四点探针标准测试方法,采用步进系统自动控制探头与样品接触,减少人为因素对测试结果的影响;参照A.S.T.M 标准;测量方块电阻、电阻率、电导率数据、PC软件采集和数据处理实现自动点测模式或手动点测模式,同一位置的重复测试或多点的面电阻测量报表输出数据统计分析;提供标准校准电阻件.
    .适用范围:
    FT-3120 系列半自动四探针测试仪

    晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏.
     
     FT-3120 系列半自动四探针测试仪
    .技术参数:
    规格型号 FT-3120A FT-3120B FT-3120C FT-3120D
    1.电阻 10^-3~2×10^4Ω 10^-5~2×10^5Ω 10^-6~2×10^5Ω 10-4~1×107Ω
    2.方块电阻  10^-3~2×10^4Ω/□ 10^-5~2×10^5Ω/□ 10^-6~2×10^5Ω/□ 10-4~1×107Ω/□
    3.电阻率  10^-4~2×10^5Ω-cm 10^-6~2×10^6Ω-cm 10-7~2×106Ω-cm 10-5~2×108Ω-cm
    4.测试电流  0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,
     
    10mA,100mA
    1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA ---200pA
    5.电流精度  ±0.1% ±2%
    6.电阻精度  ≤0.3% ≤10%
    7.PC软件操作 PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、数据管理分析:过程数据,大、小值,均值,方差,变异系数,样品编号,测试点数统计报表生成
    8.探针范围: 探针压力为100-550g;依据样品接触需要手动调节
    9.探 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%
    圆头镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制
    10.可测晶片
    尺寸选购
     
    晶圆尺寸:2-12寸6寸150mm,12寸300mm);
    方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
    11.分析模式 自动或手动单点模式
    12.加压方式 测量重复性:重复性≤3
    13.安全防护 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
    14.测试环境 实验室环境
    15.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 
    16.选购项目 电脑和打印机



     
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