- ROOKO瑞柯微四探针方块电阻测试仪FT-330
详细信息
品牌:ROOKO瑞柯微 型号:FT-330 加工定制:是 类型:数字式 测量范围:12133 MΩ 电源:220 测试电压:10000 V 精度:1 重复误差:1 环境温度:1 相对湿度:1 校准周期:1 重量:12 kg 尺寸:233
1.描述:采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,提供通讯接口,PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.
二.参照标准:
硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造;GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
三.适用范围:
适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析半导体材料质量的工具;液晶显示,自动测量和系数补偿,并带有温度补偿功能,自动转换量程;采用AD芯片控制,恒流输出,选配:PC软件,保存和打印数据,生成报表
规格型 FT-331 FT-332 FT-333
1.方块电阻 10-5~2×105Ω/□ 10-4~2×105Ω/□ 10-3~2×105Ω/□
2.电阻率范围 10-6~2×106Ω-cm 10-5~2×106Ω-cm 10-4~2×106Ω-cm
测试电流范围
0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 10μA,100µA,1mA,10mA,100mA 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.电流精度 ±0.1% ±0.2% ±0.2%
5.电阻精度 ≤0.3% ≤0.3% ≤0.3%
6.显示读数 液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式 普通单电测量
8.工作电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W
9.误差 ≤4%(标准样片结果)
10.选购功能 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻
11.测试探头 探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针
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